微机电材料库（material library），工学-机械工程-机械工程基础-微纳与仿生机械-﹝微纳机械﹞-微机电系统分层级设计，含有材料特性、材料参数以及材料加工方法等的集合体。意为贮存材料的场所。材料库中主要包含的材料特性有：杨氏模量、残余应力、密度、断裂强度、屈服强度、断裂韧度、泊松比、方块电阻、电导率、电阻率、热导率、热膨胀系数、热扩散系数、热容、塞贝克系数、压阻系数等等。同时，由于加工工艺的不同，同种材料的材料特性参数可能发生较大变化，因此在提供材料特性参数时通常需要注明材料的加工方法和条件。由于微机电系统材料特性参数的测试无法使用传统的测试方法，因此数据来源通常为文献资料。对于微机电系统设计人员而言，材料库的意义在于为其设计提供参考，从而根据可选择的材料来对自己的设计进行优化；对于微机电系统的加工方而言，材料库的意义在于得到加工条件与所加工材料特性的关系，从而进一步优化工艺线的稳定性、一致性和均匀性。