动力学衍射区是指满足布拉格(Bragg)定律的晶体部分参与衍射,衍射角θ宽约10-5弧度,称为动力学衍射区。X射线形貌术X-ray topography根据X射线在晶体中衍射衬度变化和消像规律,检查晶体材料及器件表面和内部微观结构缺陷的一种方法。它属于非破坏性检验,具有样品制备方便、实验重复性好,能决定缺陷的性质等优点,广泛应用于晶体材料和外延薄膜材料结完美性的研究。主要设备为X射线形貌相机,它包括:X射线源、准直光栏系统、可调节的样品台和探测记录系统四部分。根据不同的X射线源、样品放置和实验安排,X射线形貌术可分为:反射形貌术、透射形貌术、双晶形貌术、异常透射形貌术和同步辐射源X射线形貌术。当X射线入射到完美晶体内,其入射波与衍射波相互作用,产生初级消光。只有满足布拉格(Bragg)定律的晶体部分参与衍射,衍射角宽约弧度,称为动力学衍射区。如果晶体存在缺陷,规则的晶体点阵排列受到破坏,在缺陷周围区域的点阵面间距或取向会发生变化,使得动力学衍射条件被破坏而出现了运动学衍射区并产生缺陷衍衬X射线形貌图中衍射衬度主要反映晶体内的取向衬度和消光衬度。