五甲氧基钽

五甲氧基钽Ta ( UCH3 75tantalum pentamethoxide熔点}a}。佛点13}} ( 2G .7Pa )。纯度妻99 . 99 96是白色可燃固体。制备方法有:(1}五氯化钮与无水甲醇及高纯氨反.立;(2)电化学法。提纯采用减压精馏法J主要用于CVD法和dot-Gel法制备高纯TazOs或含Taz05组分的多组分氧化物薄膜及粉体的功能材料}7前体源。