陈大鹏

（中国科学院微电子所研究员研究员）

陈大鹏，中国科学院微电子所研究员，副所长，博导，先后参与或者主持过多项国家集成电路重大专项、国家自然基金、863计划、973计划、科技攻关等课题；主要从事集成电路制造工艺技术研究，微细加工技术研究，MEM