微光机械焦平面阵列（micro opto-mechanical focal plane array; FPA），工学-机械工程-机械工程基础-微纳与仿生机械-﹝微纳机械﹞-微纳结构，由双材料微悬臂梁排布而成的二维阵列。又称双材料微悬臂梁式焦平面阵列。焦平面阵列简称FPA。发展过程1996年，美国橡树岭国家实验室的研究人员等采用商用压电电阻微悬臂梁（Piezoresistive Microcantilever）展示了一种新型的热探测器，首次证实双材料微悬臂梁作为热探测器的可行性。1997年，美国加州大学伯克利分校（UC Berkeley）的A.阿塔拉尔（Abdullah Atalar）等人开展了基于光学干涉读出的双材料微悬臂梁FPA研究。第一个真正意义上的双材料微悬臂梁红外FPA于1999年由加州大学伯克利分校的A.马宗达（Arun Majumdar）等人做出。他们采用氧化硅表面牺牲层工艺，使用氮化硅和金作为微悬臂梁的两种材料。2002年，加州大学伯克利分校的赵阳等人开展了基于光学衍射读出的悬臂梁焦平面阵列红外成像系统研究，获得了2米远处人手的室温成像。