比较法真空标准装置（vacuum standard device with direct comparison），工学-机械工程-机械工程基础-[测试理论与技术]-计量-真空计量技术，直接与标准真空计比较来进行真空计校准的标准装置。被校准真空计的接入法兰和标准真空计的法兰接触到的校准气体具有相同的密度和速度分布，即具有相同的压力。可以改变校准室中气体密度（压力），并将被校准真空计与标准真空计指示的压力值进行比较。该方法可分为静态比较法和动态比较法，其原理见图。比较法真空标准装置原理示意图比较法真空标准装置测量范围为（1×10-4～1×105）帕，测量不确定度为5%～0.1%（）。静态比较法是将校准室与抽气系统断开，向校准室内充入一定量的气体，获得稳定的静态压力，从而进行标准真空计与被校准真空计指示压力值的比较。动态比较法是基于气体连续流原理，给装置持续注入一恒定流量的气体，当与泵速平衡、在校准室内形成均匀而稳定的动平衡压力时，再用标准真空计与被校真空计压力值进行比较。