半导体材料性能检测

半导体材料性能检测（characterization of semiconductor materials），工学-材料科学与工程-电子信息材料-半导体材料-半导体材料性能检测，半导体材料测试是表征半导体材料性质、性能的技术，是半导体材料发展的重要组成部分。发展简史20世纪50年代，主要是利用电学（电阻率、霍尔系数、磁阻等）、光学（光电导、光吸收等）方法测量半导体材料的导电类型、载流子浓度、迁移率、杂质含量、杂质（缺陷）能级等来了解材料的补偿度（纯度）、宏观均匀性以及载流子散射机理等；用X射线衍射、金相观察等确定半导体材料的晶体结构及其完整性，如层错、位错密度、夹杂和孪晶等。70年代，随着半导体材料生长方法如液相外延（LPE）、气相外延或气相沉积（VPE或CVD）技术的迅速发展，材料检测分析的重点逐渐转向对半导体薄膜的表面、异质结界面性质研究和对薄膜材料的组分和结构分析。