离子探针质谱分析器（ion microprobe mass analyzer），工学-材料科学与工程-材料基础-材料表征与分析-[核技术分析方法]，测量固体表面微区组成的一种质谱分析仪器。又称二次离子质谱仪（SIMS）。是一种对表面灵敏的分析技术。离子探针质谱分析器的基本原理是由离子源发出具有足够高能量的一次离子束（如Ar+、Cs+、O-、O2+、Ga+等离子束），利用聚焦好的一次离子束作为“探针”，轰击固体试样表面，引起固体表面（约几个原子层）原子和分子以中性的或带正、负电荷的二次离子状态溅射出来，用质谱法分析这些溅射出的二次离子，即按照质量与电荷之比进行质谱分析，得到的质谱图称为二次离子质谱（SIMS），获得的信息可以给出被轰击物质的表面和内部的元素分布特征。获取二次离子质谱的技术可以分为两类：动态法和静态法。