纳米制备自上而下法

纳米制备自上而下法（top down method for nanofabrication），工学-材料科学与工程-纳米材料-纳米技术，将较大尺寸(从微米级到厘米级)的物质通过光刻、切割、研磨、刻蚀和腐蚀等技术制备纳米结构的方法。纳米制备自上而下法分为物理自上而下法和化学自上而下法。