等离子增强金属有机化合物气相外延

（材料科学技术）

等离子增强金属有机化合物气相外延（plasma enhanced metalorganic vapor phase epitaxy，PE-MOVPE），材料科学技术名词，利用等离子体促进化学反应、降低反应温度的金属有机化合物气相外延。