扫描俄歇微探针[法]

扫描俄歇微探针（scanning Auger microprobe）是2016年全国科学技术名词审定委员会公布的化学名词。超高真空条件下，用电子束对样品表面进行扫描取得二次电子像，根据所选微区能进行各种俄歇分析的方法。