聚焦离子束双束系统

聚焦离子束双束系统是一种用于材料科学领域的分析仪器，于2014年03月31日启用。电子束:分辨率： ≤1.0 nm@15KV ，≤1.9 nm@1kV； 放大倍率：12x ～ 1000kx；离子束:分辨率： ≤ 2.5nm@30kV； 放大倍率:300x ～ 500kx.。