场效应化学传感器

使用场效应晶体管检出气体、离子、分子、水分等化学成分的传感器。当场效应化学传感器与外界化学物质接触时，在场效应晶体管的绝缘层与溶液（或气体）的界面形成双电层。这种双电层所产生的电场能够引起半导体表面导电性能的变化，因此可用于检测化学物质的量。