高能离子散射谱法

高能离子散射谱法（high energy ion scattering spectroscopy），化学名词，超高真空条件下，利用高能(MeV)单质稀有气体离子(、、)与样品表面的弹性散射作用，通过在设定散射角度方向上测量背散射离子的能量以识别样品原子质量及其深度分布的分析方法。