低能离子散射谱法

低能离子散射谱法（low energy ion scattering spectroscopy，LEIS），化学名词，超高真空条件下，利用原束能量<5keV的惰性气体离子(、、)与靶样品表面的散射作用，在一定的散射角度方向上测量被散射离子的产额随其能量变化的特征谱线，以获得散射表面原子组成的分析方法。