离子束加工

（科技产品）

离子束加工的原理和电子束加工基本类似，也是在真空条件下，将离子源产生的离子束经过加速聚焦，使之撞击到工件表面。离子束的加工装置主要由包括离子源、真空系统、控制系统和电源等。