半导体器件分析仪（semiconductor device analyzer），工学-仪器科学与技术-电子仪器科学与技术-其他-半导体器件分析仪，用于半导体器件参数测试、一致性测试和生产测试分析的装置。半导体材料和器件的发展很快，已研制出种类繁多、功能用途各异的半导体器件，频率覆盖范围可从低频、高频、微波、毫米波、红外直至光波。在经历50年不断加速的技术发展之后，半导体器件已经跻身于人类的最复杂创造之列。随着半导体复杂性的增加，传统的晶体管图示仪已不能满足快速发展的半导体测试需求，迫切需要能应对日益增多的性能和种类的半导体测试需要的新型半导体器件测试仪器。半导体器件分析仪是真正意义上的半导体参数分析仪，是器件表征的综合解决方案。支持基本的电流—电压（IV）和电容—电压（CV）测量以及快速脉冲IV、快速IV、瞬时IV测量，具备极高的测量可靠性，可对器件、材料、半导体、有源/无源元件以及任意电气器件进行各种电气表征和评测，借助功能强大的分析软件可以执行高效、深入、数据可恢复的器件表征。可以覆盖半导体研制、生产、质量检验阶段各个环节。