微气隙气体探测器（micro-pattern gas detector；MPGD），理学-物理学-粒子物理学，利用多孔膜（板）或丝网等制作的新一代气体探测器，是粒子物理实验中的重要设备之一。其特征是电子在微小的结构单元（小于1毫米）内雪崩放大，主要包括气体电子倍增器（GEM），厚型气体电子倍增器以及微网结构气体探测器，微条气体室等。利用气体中电子在微孔内的雪崩效应使电子倍增的新型气体探测器于1997年在欧洲核子研究中心由F.绍利[注]发明。GEM的倍增电极（GEM膜）是用50微米厚的双面覆铜聚酰亚氨膜制作，铜层厚度约5微米，利用光刻、化学腐蚀等方法在膜板上腐蚀出间距140微米、直径70微米的圆孔，呈三角形排列（如图1所示）。微孔内部形状为双圆锥形（或单圆锥形）。GEM膜最大面积可达1平方米，膜上下电极之间加约350～400伏的电压，在孔内形成强电场约8万伏/厘米，电子的雪崩增殖就发生在孔内。图1 气体电子倍增器（GEM）的部分结构示意图气体倍增因子就是当一个电子进入孔内经雪崩（见正比计数器、多丝正比室）后出孔处增殖的电子数。