高频交流等离子体（high-frequency alternative current plasma），工学-电气工程-﹝电工新技术﹞-放电等离子体-﹝等离子体驱动形式﹞-交流等离子体，在频率高于1000赫兹的交变高压电场作用下，气体放电产生的交流等离子体。当外施电源频率升高时，气体放电的击穿电压降低，而等离子体中的传输电荷和放电功率均非线性增加，尤其是大气压环境中放电的均匀性有所改善，同时使用高频电源驱动产生的等离子体，可以获得更高的电子密度和更低的电子轰击能量。高频交流等离子体发生装置包括高频高压电源和反应器两个部分。大功率半导体器件的应用是高频交流等离子体发展的基础，高频高压电源能将市电经整流、逆变和谐振之后转变为高频高压，与工频交流等离子体电源相比，高压高频电源体积较小、效率较高，同时等离子体放电对电网的冲击较小，整体电源的功率受限于主功率回路中半导体器件特性。