表面微观形貌分析

表面微观形貌分析（surface micro-morphology analysis），工学-机械工程-机械工程基础-机械设计-表面工程-表面分析与检测，对固体物质表面微观形状起伏特征的显微分析。表面微观形貌测量在工业生产、自动检测、电子工业、机器人视觉等领域有极大作用，同时在材料科学、生物医学、物理、化学及微电子等领域得到广泛应用。表面微观形貌测量技术是现代精密测试计量技术的一个重要组成部分。表面微观形貌的测量方法主要有：机械探针式测量方法、光学探针式测量方法、干涉显微测量方法、扫描电子显微镜[注]、扫描探针显微镜等方法。