微纳米机电系统（micronano electromechanical system; MEMSNEMS），理学-力学-交叉力学-微纳米力学-微纳米机电系统，在微米/纳米尺度内设计和制造、集成多种元件, 构建能显示微米/纳米级结构新效应的器件和系统。通常由微传感器、微执行器、信息单元和通信/接口单元等组成。其中微机电系统的特征尺寸为0.1微米～0.1毫米，纳机电系统的特征尺寸为1～100纳米。微纳机电系统中的 “机械” 代表一切具有能量转化、传输等功能的效应，包括力、热、电、磁、光、化学、生物等。各类微传感器从被观测与控制对象中获取压力、光、声、温度等信息，转换成电信号，并按要求进行处理、提取信息，通过微执行器对目标实施控制或显示。同时，系统通过通信/接口单元以光、电或磁的形式与其他微系统保持信息联系。下图为微机电系统模型。微机电系统模型微传感器是基于微机电系统工艺的，能把被测物理量转换为电信号输出的器件。通常由敏感元件和传输元件构成。微传感器按传感机理可分为压阻、压电、隧道、电容、谐振和热对流等类型；按物理参数可分为力、热、光、电磁、化学和生物医学等类型。