平面度计量基准

平面度计量基准（primary standard of flatness），工学-机械工程-机械工程基础-[测试理论与技术]-计量-几何量计量学-形状误差计量技术，国家平面度计量器具的最高标准。是中国平面度量值溯源的源头。通过标准器具向使用中的工作计量器具进行量值传递，以保证国内平面度量值的统一，所复现的量值作为平面度比对的基础。主要由相移式激光等厚干涉仪、毫米基准平面平晶组（平面度≤0.016微米）和毫米基准平面平晶组（平面度≤0.032微米）等组成。中国平面度基准建立于1986年，有主基准和副基准两套，主基准保存于中国计量科学研究院，副基准保存于中国测试技术研究院，它们通过每四年一次的比对保持量值一致。相移式激光等厚干涉仪基于Fizeau式相移干涉仪的原理（见图）。稳频He-Ne激光经准直物镜后成为平行光，当此平行光束入射至标准参考平板时，部分光束由标准参考平面反射回到干涉仪内部，形成参考平面波面；另一部分光束透射过标准参考平板，入射至待测表面后返回，形成待测波面。由于参考波面与待测波面存在光程差，因此在干涉仪内部的CCD图像传感器上可接收到干涉条纹。