硅基微机电系统（silicon-based micro electro-mechanical system; silicon-based MEMS），工学-机械工程-机械工程基础-微纳与仿生机械-﹝微纳机械﹞-微纳器件，在硅、绝缘体上硅（silicon-on-insulator; SOI）等基底材料的基础上，应用半导体微加工技术制造的各种微传感器、微执行器以及微系统的总称。硅基微机电系统是发展早、市场占有率高的一类微机电系统（MEMS）器件和系统。第一只硅微压力传感器、第一只硅谐振栅晶体管、第一只单芯片集成式微加速度计都是采用硅基微加工技术制造的。硅基微加工技术保持了与集成电路（integrated circuit; IC）芯片制造工艺的良好兼容性，可充分利用现有的IC产业工艺平台，实现大批量、低成本、高度集成的MEMS器件和系统的研制与生产，是MEMS能够在汽车工业、消费电子等领域被广泛应用的重要原因。最常见的两种硅基微加工技术是表面硅微加工技术与体硅微加工技术。