低能电子显微镜（low energy electron microscopy），理学-化学-物理化学-纳米物理化学-低能电子显微镜，有效的表面实空间成像技术。低能电子显微镜（LEEM）的思想是20世纪60年代初提出的，由于种种原因直到1985年才由E.鲍尔[注]和W.特莱普斯[注]正式推出。低能电子显微镜系统主要由样品室、电子枪室和成像室三个超高真空部分构成，系统上可装配各种蒸发源、吸附气体源和其他相容的分析手段。低能电子显微镜与透射电子显微镜（TEM）有许多相似之处，低能电子显微镜像与低能电子衍射（LEED）图像之间的关联和透射电子显微镜像与透射电子衍射（TED）图像之间的关联相同。低能电子显微镜和透射电子显微镜都是直接成像技术，都采用光阑选择某一衍射束成像以获得对比度。但两者的主要差别在于低能电子显微镜利用的是低能量的由样品表面背散射回来的电子成像。