平面等厚干涉仪（flatness equal-thickness interferometer），工学-机械工程-机械工程基础-[测试理论与技术]-测量-量仪，采用等厚光波干涉原理测量平面度的测量仪器。原理当光源照到一块由透明介质做的薄膜上时，光在薄膜的上表面被分成反射和折射两束光（分振幅），折射光在薄膜的下表面反射后，又经上表面折射，最后回到原来的媒质中，在这里与反射光交迭，发生相干干涉。只要光源发出的光束足够宽，相干光束交迭的区域可以从薄膜表面一直延伸到无穷远。薄膜厚度相同处产生同一级的干涉条纹，厚度不同处产生不同级的干涉条纹。这种干涉称为等厚干涉。通过测量干涉条纹的变化，进而推断出上下表面间厚度的变化，由此得到被测件表面的平面度（图1）。