NEMS传感器

NEMS传感器（NEMS sensor），工学-机械工程-机械工程基础-[测试理论与技术]-传感器-温度传感器，特征尺寸在1～100纳米，以机电结合为主要特征，采用纳米级电子和纳米级机械加工技术制造，以纳米级结构所产生的新效应（量子效应、界面效应和纳米尺度效应）为工作特征的新型传感器。全称纳机电系统[注]（NEMS）传感器。纳机电系统是20世纪90年代末、21世纪初提出的一个新概念。从机电这一特征来讲，可以把NEMS技术看成是微机电系统（MEMS）技术的发展。