单晶气相生长法

单晶气相生长法（single crystal vapor growth method），理学-化学-无机化学-固体化学-层状化合物-单晶气相生长法，将拟生长的晶体原料通过升华、蒸发、溅射或分解等物理化学过程转换为气相，然后通过控制适当的条件使之沉积结晶的过程。目标产物可以是块状单晶，也可以是单晶薄膜。通常用于新化合物的制备、单晶生长和提纯。按照物质输运方式的不同，单晶气相生长技术可分为物理气相沉积和化学气相沉积两种。