气相沉积法制粉

气相沉积法制粉（vapor deposition process to produce powders），工学-材料科学与工程-无机非金属材料-陶瓷-陶瓷制备科学-陶瓷粉体，通过各种方法给予气体原料以不同能量，使其产生非挥发性反应物而制备金属或陶瓷粉体的方法。按制粉原理可分为物理蒸发冷凝法制粉和化学气相沉积（CVD）法制粉，其中应用最多的是化学气相沉积法制粉。