化学气相生长法

化学气相生长法（chemical vapor growth method），工学-材料科学与工程-电子信息材料-半导体材料-[半导体材料制备]-[体单晶制备方法]-气相生长法，通过材料与作为传输剂的物质进行化学反应，生成具有较高蒸汽压的中间化合物，实现气相传输，再在晶体生长界面进行化学反应生长出预定的单晶材料的方法。见气相生长法。