物理气相生长法

（工学 | 材料科学与工程）

物理气相生长法（physical vapor growth method），工学-材料科学与工程-电子信息材料-半导体材料-[半导体材料制备]-[体单晶制备方法]-气相生长法，利用材料本身在较低温度下的升华特性，实现单晶生长的方法。见气相生长法。