超声振动研磨（ultrasonic vibration grinding），工学-机械工程-〔机械制造工艺与装备〕-〔特种加工工艺与装备〕-〔其他加工工艺与装备〕-超声辅助切削，把超声振动能量用于机械研磨中的一种高效率的研磨工艺。在超声振动研磨加工中，超声振动工具头的端面和工件表面保持一固定的加工间隙，并在其间充以含微细磨料的工作液。加工过程中工具头固定住，仅起发射超声波的作用，含有磨粒的工作液在超声波作用下，电解液中的磨粒脉冲式冲击工件表面。虽然磨粒的冲击具有随机性，但是对微观表面上凸处冲击到的概率应该高于凹处，并且因为磨粒量大、粒小，对表面的加工是均匀且柔和的。研究表明，磨粒尺寸、超声波声压、加工间隙是影响超声振动研磨加工的主要因素。①材料的去除量随着磨粒尺寸增大而增加，随着磨粒尺寸的减小而减少。在实际加工中，细粒度磨粒较细且均匀性较好，表面受到冲击力较均匀柔和，材料的表面质量较高，当然颗粒不能太小，否则无法保证有效去除。粗粒度磨粒较大会影响磨粒在加工间隙中自由运动，表明质量较差。②材料的去除量随着超声波声压增加而增加，随着超声波声压减小而减少。