电子束热处理（electron beam heat treatment），工学-机械工程-〔机械制造工艺与装备〕-〔热加工工艺与装备〕-〔热处理工艺与装备〕-表面热处理-高能束表面淬火，利用高能量密度的电子束对金属零件表面进行选区加热，进而实现表面或整体热处理的技术。其与激光热处理、离子热处理同属新兴的高能束热处理范畴。电子束通常由电子枪阴极（灯丝）发出的电子，经由高压环形阳极加速，并聚焦成束。在加速电压的作用下，其运动速度可达光速的2/3。高速运动的电子具有波的性质，当高速电子束照射到金属表面时，电子能够深入金属表面一定深度，与基体金属的原子核及电子发生相互作用。由于电子与原子核质量差别极大，所以电子与原子核的碰撞可视作弹性碰撞。因此，能量传递主要是由电子束与金属表层电子的碰撞来完成。电子的动能以热能形式转换并传递给金属表层原子，从而使被处理金属的表层温度迅速升高。电子束的能量密度极高，通常为104～105瓦/厘米2，因而金属表层的加热速度可达103～105摄氏度/秒。这就使得金属表层被加热至相变点以上时，内部仍完全处于冷态。