涂层厚度检测

涂层厚度检测（thickness measurement），工学-机械工程-机械工程基础-机械设计-表面工程-表面分析与检测-涂层质量检测，对基底表面与涂层表面之间的距离进行测量的技术和方法。涂层厚度测量一般分为3类：形状厚度测量，质量厚度测量，物性厚度测量。形状厚度测量指的是对基片表面和涂层表面的距离的测量；质量厚度测量指的是通过将薄膜的质量除以薄膜的面积得的厚度进行测量的方法，也就是单位面积所具有的质量（克每立方厘米）；物性厚度测量指的是根据薄膜材料的物理性质的测量，通过一定的对应关系计算而得到的厚度的测量方法。涂层材料的力学性能、摩擦学性能、光学性能、磁学性能，热学性能、表面结构等都与厚度有着密切的联系。在机械工程领域，涂层的厚度是一个非常重要的参数，直接关系到涂层材料能否正常工作。 薄膜厚度的测量方法有很多，按照测量的方式分可以分为两类：直接测量法和间接测量法。直接测量法是指应用测量仪器，通过接触（或光接触）直接感应出薄膜的厚度的方法，常见的直接测量法有：螺旋测微法、精密轮廓扫描法（台阶仪法）、扫描电子显微镜[注]法。