纳米形貌测量（nano topography measurement），工学-机械工程-机械工程基础-[测试理论与技术]-测量，检测物体表面纳米尺度形貌变化的测量方法。纳米形貌测量常用仪器包括扫描电子显微镜、透射电子显微镜、扫描隧道显微镜和原子力显微镜等。扫描电子显微镜。一种利用电子束扫描样品表面从而获得样品信息的电子显微镜。简称扫描电镜（SEM）。它能产生样品表面的高分辨率图像，且图像呈三维，扫描电子显微镜能被用来鉴定样品的表面结构及形貌。透射电子显微镜。把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上，电子与样品中的原子碰撞而改变方向，从而产生立体角散射。简称透射电镜（TEM）。散射角的大小与样品的密度、厚度相关，因此可以形成明暗不同的影像，影像经过放大、聚焦后在成像器件（如荧光屏、胶片以及感光耦合组件）上显示出来。扫描隧道显微镜。根据量子隧道效应来获取反映样品表面形貌及电子态图像的一种新型显微镜。简称（STM）。扫描隧道显微镜是于20世纪80年代初发展起来的第三种能够直接观察到单个原子像的显微镜。