纳米计量技术

纳米计量技术（nano-metrology technology），工学-机械工程-机械工程基础-[测试理论与技术]-计量-几何量计量学-纳米计量技术，在纳米尺度范围内，通过不间断溯源链将测量结果与国际单位制（SI）基本单位建立联系，实现量值统一、准确可靠的技术。纳米计量技术的目标是建立完整的纳米计量溯源体系。该体系包括四个层次：第一层是激光波长“米”定义，是长度量值的源头；第二层是纳米计量基准/标准装置，具有最高测量能力，量值直接溯源到“米”定义国际单位制基本单位；第三层是纳米计量标准器/标准物质，由计量基准/标准装置定值，量值准确、稳定、可传递；第四层是科研和生产过程中的纳米检测仪器，由计量标准器/标准物质校准，确保量值的等效一致。纳米计量量值传递关系见图。纳米计量量值传递关系示意图中国纳米计量溯源体系的源头由中国计量科学研究院建立。已建立的纳米计量标准装置包括：纳米几何结构计量标准装置、微纳线条宽度计量标准装置、纳米膜厚计量标准装置、纳米颗粒粒径计量标准装置和激光共聚焦拉曼光谱标准装置。