纳米尺度测量（measurement at nano-scale），工学-机械工程-机械工程基础-[测试理论与技术]-测量，在纳米尺度上对物体的表面结构、微观形貌、几何尺寸及物质间相互作用等特征进行的测量。是纳米科学的一个重要分支。纳米是一种长度单位，1纳米=10-9米。纳米科学是在纳米尺度上（1～100纳米）研究物质的特性、物质的相互作用，以及如何利用这些特性研究多学科交叉的前沿科学与技术。现在亚微米到纳米精度的测量已经成为工业发展和科学发展中迫切需要解决的问题，例如，半导体工业中高精度模板的制造和定位，高精度传感器的标定。在科学研究中的量子物理、化学及分子生物学都需要很高的测量精度，纳米测量有着重要的科学意义。