辉光放电质谱（glow discharge mass spectrometry; GDMS），理学-化学-分析化学-【光化学分析法】，利用辉光放电源作为质谱仪离子源进行定性、定量分析的一种分析方法。简史1970年首次将辉光放电源作为一种离子源引入质谱分析。其后，发展了空心阴极离子源，并对其放电机理和影响因素进行了系统研究。20世纪80年代，商品化仪器的出现使GDMS在无机固体尤其是高纯材料分析领域得到了广泛应用。此后，脉冲辉光放电和射频辉光放电离子源得到迅速发展，已成为固体材料领域直接进行痕量及超痕量元素分析最有效的手段之一。