硅烷基化反应（silylation），理学-化学-有机化学-有机反应-烷基化-硅烷[基]化，有机化合物分子中连在碳、氧、氮或其他杂原子上的氢原子被烷基硅基所取代的反应。烷基硅基（—SiR3，R为烷基）的引入可以减小分子的极性，增加分子的挥发性，增加分子的热稳定性。在质谱分析中，带有烷基硅基的分子可以产生特殊的碎片化模式和特征的离子碎片，有利于质谱的分析。通常，底物与烷基硅试剂R3SiX（R为烷基，X为卤素或者其他离去基团）在碱的作用下，—SiR3取代了底物中的对应氢原子：硅烷基化反应常应用在对醇羟基的保护。