扫描探针光刻

扫描探针光刻（scanning probe lithography），工学-机械工程-机械工程基础-〔机械制造基础〕-加工制造-微纳机电系统-磁致动器，利用多种扫描探针显微镜开展纳米级加工的一系列光刻技术的总称。由于扫描探针显微镜的针尖曲率半径很小，且与样品之间的距离很近（＜1纳米），针尖与样品间将形成一个高度局域化的场，包括力场、电场、磁场和光场等，该场在样品表面微小区域产生结构性缺陷、相变、化学反应和吸附质移位等干扰，进而诱发化学沉积和腐蚀，实现原子操纵并进行纳米结构加工。