微波等离子体
(理学 | 物理学)
微波等离子体(microwave plasma),理学-物理学-等离子体物理学-气体放电,利用高频电磁波使工作气体电离击穿而产生的等离子体。应用于产生微波等离子体的频率一般是0.915吉赫和2.45吉赫,其中2.45吉赫微波使用更为普遍。
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