微加工工艺

微加工工艺（micromachining process），工学-机械工程-机械工程基础-〔机械制造基础〕-加工制造-微纳机电系统，产生微米或者更小尺度微型结构或器件的加工方法。也泛指所有微小器件设计与加工技术的总称。微加工工艺的主要内容有微机电系统（MEMS）加工和机械微加工两种。MEMS加工是由微电子技术（光刻、激光加工技术）发展起来的批量加工技术，主要包括硅微加工技术和非硅微加工技术。