移相干涉仪

移相干涉仪（phase—shifting interferometry），工学-机械工程-机械工程基础-[测试理论与技术]-测量-量仪，基于光波干涉原理，利用移相器在两干涉路中引入一个相位调制，进而从干涉图中高精度提取相位信息以测定光程差或其他参量的测量仪器。移相干涉技术于1974年被提出。移相干涉技术的应用显著提升了干涉检测的精度和自动化程度，同时极大地扩展了干涉仪的测量功能。