低压电弧离子源

低压电弧离子源low voltage arc ion source一种放电型 离子源，结构类似于电子电离源，工作气体庄力1.U--0.1Pa， 电阴极灯丝发射电子束，在阳极弓【力作用下，以一定狗能量与 试样气体碰撞，产生低压弧光放电，导致气体电离。