表面光学检测仪是一种用于材料科学领域的计量仪器，于2016年06月28日启用。1 平台及其控制部分：宏微驱动方式（1）高强度机架结构配有100mm垂直扫描范围的控制系统（2）X-Y轴双向移动样品测试台，行程范围 150mm x 120mm，分辨率达到0.1μm（3）驱动箱移动速度：(0.1～9)mm/sec（4）测量速度：(0.1～3)mm/sec（5）测头间转换使用自动鼻轮2 白光干涉测头部分（1）高精密Z轴移动控制：(0~10)mm（2）4色（白、绿、蓝、红）高亮度LED光发射源（3）5M低噪音／高像素数字相机（4）针尖-样品倾斜阶段：6度可调（5）尼康5。