微纳探针（micronano probe），工学-机械工程-机械工程基础-微纳与仿生机械-﹝微纳机械﹞-微纳结构，采用微纳制造技术制作、特征工作尺度在微纳米范围的目标探测装置。微纳探针的作用主要有：探测和读出电信号；将激励电信号施加到探针的探测端，对目标进行定点的电信号激励。在电子和微电子器件与集成电路芯片工业，产品出厂前，要通过对电路的功能进行测试来识别成品是否合格，这就出现了电子测试探针，它将信号探针与芯片和器件的很多个电连接点进行连接，进而进行功能测试。随着集成电路焊盘数量增多和尺寸变小，探针也逐渐变成了微米尺度的微探针，而很多微探针集成在一起同时连通一个或多个电路芯片的焊盘或引脚进行测试，就出现了微探针卡。在2005年以后，采用微机电系统（micro electro-mechanical syetem; MEMS）等工艺制造的微探针卡逐渐成为了市场的主要测试工具。在生物医疗领域，制作了尖锐的微探针阵列来刺破细胞等生物组织外壁，读取生物信号来研究生物特性。在人机交互和神经研究领域，用细长的探针实现对脑和神经信息的探测，以及用来传递人机交互界面的信息。