浇注成型（moulding by casting），工学-机械工程-机械工程基础-〔机械制造基础〕-加工制造-微纳机电系统-磁致动器，采用光刻、腐蚀等微纳米加工技术制作的微纳米结构作为模具，然后将液态聚合物材料直接浇注到模具表面上，待聚合物在特定温度下经过一段时间固化后从模具上剥离，得到带有微纳米结构的聚合物器件的制造方法。PDMS的浇注成型工艺流程（见图）为：①将PDMS的预聚物和固化剂按照10∶1的质量比搅拌混合均匀，并在真空烘箱等设备中抽真空去除气泡；②将PDMS混合物浇注到模具表面上，然后将其放入烘箱中或者热板上，在80℃左右加热1～2小时，进行PDMS固化成型；③将带有微纳米结构的PDMS基片从模具上剥离。浇注成型工艺流程图浇注成型的模具可以用硅、玻璃、光刻胶等材料制作，模具应该具有较小的表面粗糙度，否则会影响聚合物器件的表面质量。常用于浇注成型的材料有固化型聚合物和溶剂挥发型聚合物，其中聚二甲基硅氧烷（PDMS）是一种柔软、弹性好并且具有良好光学性能和生物兼容性的固化型聚合物材料，被广泛用于制作微流控芯片等微纳米器件。