静电驱动（electrostatic actuation），工学-机械工程-机械工程基础-微纳与仿生机械-﹝微纳机械﹞-微纳驱动，利用异性电荷间的库仑力作为驱动力所实现的机械驱动。1969年，法国学者研制了几种电容可变式静电电动机，这一研究结果使人们开始关注静电驱动。随着电子技术的高速发展，硅加工工艺逐渐成熟，1989年，美国加州大学伯克利分校成功地在硅片上制作出直径为120微米的静电电动机。当在两个相对平行的极板上施加电压时，由于极板间有绝缘介质（如空气），正负电荷会分别聚积在两个极板上，这时正负电荷间会产生静电引力。当改变施加的电压时，由于静电引力变化使电极之间的距离发生变化实现了机械驱动。电极间距越小，电极间的电场强度越大，产生的静电力也越大。静电驱动有结构简单、电场强度不受尺寸影响和能量转化效率高等优点。静电驱动在小型电机、微泵、硅扭矩微镜等方面有着诸多的研究和应用。在医疗领域，静电驱动电动机可用在集电子发射器、自动纪录仪及电脑等于一体的超小型机械上，这种机器可进入人的肠胃、血管。