微纳器件（micronano devices），工学-机械工程-机械工程基础-微纳与仿生机械-﹝微纳机械﹞-微纳器件，组成元件或特征尺寸在微纳米尺度的机电元件的总称。包括微机电器件和纳机电器件两类。微机电器件的组成部件尺度为1～100微米，总体尺寸一般为20微米至数毫米级。微机电器件中表面效应将比体积效应更具支配作用。微器件的主要材质包括硅、聚合物、金属和陶瓷等，其中以半导体材料硅使用最为广泛。制造工艺也逐步成熟，包括沉积（物理沉积和化学沉积）、图形化（紫外光刻、电子束和离子束光刻等）、蚀刻（湿法刻蚀和干法刻蚀等）及溅射和表面加工技术等。微机电器件的发展主要得益于半导体制造技术。涵盖了各类传感器、执行器及存储器等，并与生命科学等领域交叉融合孕育了如生物芯片、微流控器件在内的生物微机电技术。较为成熟和出色的应用有：投影仪中的数字式微镜阵列（DMD）、中央处理器和各类存储单元、喷墨打印机中的喷头、汽车及电子产品中的各类精密传感器等。纳机电器件是在微机电器件基础上演化出来的，其特征尺度为纳米级。