微纳驱动（micro-nano actuation），工学-机械工程-机械工程基础-微纳与仿生机械-﹝微纳机械﹞-微纳驱动，通过微纳驱动器实现力（包括扭力）和/或位移（包括线性位移和角位移）输出的执行机构。微纳驱动器是微型机电系统的重要组成部分。1959年，R.P.费曼（Richard Phillips Feynman）提出了微型机械的设想。1962年，第一个硅微型压力传感器问世，随后50～500微米的齿轮、齿轮泵、气动涡轮及连接件等微传动机构相继出现，为微纳驱动提供了技术基础。1982年，微型铸模电镀工艺加工（LIGA）技术首次报道以后，微驱动器得到了迅速发展。从1990年开始，中国也开展了微静电机、微泵和超声微马达等微纳驱动技术研究。