金属沉积(metal deposition),工学-机械工程-机械工程基础-〔机械制造基础〕-加工制造-微纳机电系统-磁致动器,金属离子在固体表面上还原为金属原子附着于电极表面,从而获得一金属层的过程。金属沉积技术按照成膜机理,可分为化学沉积和物理沉积两大类。化学沉积包含气相沉积和液相沉积两种:气相沉积是使用含有金属膜层中各元素的挥发性化合物或单质蒸气,在基体表面产生气相反应,反应产物形成沉积薄膜的一种表面技术;而液相沉积主要指电沉积,是在直流电场的作用下,在电解质溶液(镀液)中由阳极和阴极构成回路,使溶液中的金属离子沉积到阴极镀件表面上的过程,化学沉积多用于生长毫米量级厚度的薄膜。